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MaxDamp® – 高ダンピング空気ばね式除振装置

micro-g floor vibration isolators for OEM integration

  • 概要 +


    MaxDamp®は、Gimbal Piston空気ばね式除振装置と開けることができない粘性ダンパーを組み合わせたようなアプリケーションにこの付加的なダンピングを提供しております。MaxDampは、UltraDampシリーズのように積極的で最良のダンピングは提供しませんが、控えめな妥協だけで振動の減衰性能の高いダンピングが要する場合には優れた選択肢です。MaxDampは、搭載装置の速い整定時間を必要とする強力で、高速なXYモーター駆動ステージの搭載装置にお勧めします。比較的強力なモーター駆動ステージを備えた半導体検査機および露光装置および他の機器に最適です。

  • MaxDampの利点 +


    自動レベリングのGimbal Piston™空気ばね式除振装置と、高度な減衰性能の利点を兼ね揃えています

    除振と、搭載装置に誘発されるモーションに対する積極的な制定時間の両方を必要とするロボットモーション、またはモーター駆動ステージを備えた搭載装置に最適です

    より速いツールのスループットとより高い生産性

    3 Hzからの水平および垂直の除振

    共振（8～12dB）の最小増幅 

    モジュラー設計。Electro-Damp®アクティブ除振装置にアップグレード可能

  • 特長 +


    • より速い搭載装置整定時間。
    • より高い処理速度と、LCDや半導体製造および検査機器の生産性の向上。
    • 高い除振性能を維持しつつ、隔離された表面に剛性感。
    • 空気流、音響ノイズ、「オンボード」で発生した力による少ない振動の減少。

  • 性能 +


    Gimbal Piston®、MaxDamp®、UltraDamp™のダンピングレベルの比較



  • 注文表 +


    弊社にお問い合わせください。TMCでは多くのUltraDamp™のダンピングレベルを備えた除振装置をご用意しております。