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OEM用アクティブとパッシブ除振装置

  • micro-g pneumatic isolators for OEM integration thimbnail
    機器内アプリケーション用Micro-g除振装置

    幅広い搭載荷重、ダンピングレベル、およびOEM機器内アプリケーション用の高さ調整オプションを持つハイパフォーマンス Micro-g® 空圧除振装置

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  • ElectroDamp stage vibration cancellation
    ElectroDamp® II 空気ばね式アクティブ除振

    Electro-Damp®は、半導体製造アプリケーションの処理能力、分解能、生産性を向上させるために特別に設計されています。Electro-Damp IIは、モジュール性、デジタル制御、フィードフォワード、強力で/高いクリアランスのアクチュエータを追加し、複数のデジタルユーザーインターフェースはOEMアプリケーション用に特別に設計されています。

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  • PEPS II pneumatic isolator controller
    PEPS® II アクティブエアレベリングシステム

    PEPS® IIは、TMCの空気ばね式除振装置用、デジタル非接触性の高さ調節システムです。アプリケーションには、半導体製造装置の整定時間の改善と生産性の向上させるものから、最適なノイズ性能と定盤の安定性が要求される精密なラボ環境作りをするものまで様々あります。

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  • Vibration cancellation for semiconductor moving stage tools
    Stage-Base™

    TMCのStage-Base™450は、高精度電動駆動X-Yステージを搭載した高度な半導体機器の主要な除振装置として特別に設計されています。処理能力を向上させ、より速い整定時間の実現のためにフィードフォワード制御を備えたVCMを追加した結果、ステージ移動アプリケーションで最先端のアクティブ振動とモーション制御システムとなりました。

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