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ElectroDamp® II 空気ばね式アクティブ除振

  • 概要 +


    Electro-Damp®は、半導体製造アプリケーションの処理能力、分解能、生産性を向上させるために特別に設計された初の市販のアクティブ除振装置です。Electro-Damp IIは、モジュール性、デジタル制御、フィードフォワード、強力で高いクリアランスのアクチュエータ、さらにマイクロリソグラフィー、検査機器、計測機器などOEMアプレケーション用に特別に設計されたオリジナルシステムの完全な再設計に、さらに複数のデジタルユーザーインターフェースを追加しました。

    半導体製造機器は、除振装置に相反する要求をもたらします。床ノイズに応じて、床振動が隔離された表面に到達するのを効果的にフィルタリングするために、システムは柔軟でなければなりません。同時に、システムはステージモーションが隔離された表面の最小変位を誘発したときに、急速に落ち着くような、ステージの力に応えて剛性でなければなりません。 

    慣性アクティブフィードバックダンピングに加え、Electro-Damp IIは、システムの反応のさらなる向上のためにフィードフォワード情報を使用します。フィードフォワードはステージコントローラーからステージ位置と加速度に関する情報を得ることで作用します。その後そのデータを搭載装置に対して力を発動させるために処理し、ステージによって誘発される搭載装置モーションを大幅に低減します。システムは、デジタル的に、2極のアナログ信号として、または直角位相エンコーダの出力を読むことで、フィードフォワード情報を読み取ることができます。DC-2000デジタルコントローラは、ステージテストパターンを使用して、フィードフォワードの求めるパラメーターを自動的に調整することができます。これにより、最初の設置時や搭載装置の変更後に、セットアップが迅速で容易になります。

    Electro-Damp IIのモジュール性により、電磁サーボのみ(CMMのように重く、低加速アプリケーション)、電磁気作動装置のみ(高い加速率を必要とする軽めのステージ)、もしくは最も求められているアプリケーションの両方を組み合わせたシステムを使用することができます。

  • 特長 +


    • 6自由度アクティブ振動ダンピングシステム
    • 非接触式電子高さ調節
    • デジタルコントローラ
    • フィードフォワード入力は、ステージ誘発搭載装置モーションを補正します
    • 単独、もしくは統合された強力電磁アクチュエータが利用可能
    • 搭載装置モーションとステージによって誘発されるモーションの整定時間の短縮
    • 処理能力、分解能、生産性の向上
    • モジュラー設計は、OEMとの統合を簡単にするために、ユーザーが完成品もしくはコンポーネントのどちらかを指定できます
    • 縮小したセットアップのためのフィードフォワードパラメータの自動チューニング
  • 仕様 +


    一般
    整定時間 0.2 s **
    アクティブな自由度 6
    高さ調節の精度 < 10 µm at sensorsd>
    リニアアクチュエータ(水平および垂直)
    DC抵抗 5 Ω
    ばね定数 最大12 ポンド/A | 55 N/A
    最大連続力 25 lbs.| 110 N
    ピーク力@ 7A 87 lbs.| 385 N
    電気的時定数 2.6 ms
    ストローク 0.25 インチ | 6.4 mm
    横径の間隔 0.09 インチ | 2.3 mm
    漂遊磁場 < 1 G @ 2 in.d>
    製品寸法(幅x深x高) 2.8 x 6.8 x 4.5 インチ
    71 x 173 x 114 mm
    バルブ(アクティブのみ)
    バルブタイプ 比例E/Vサーボ
    制御タイプ 圧力または流量
    最高流量 1.5 SCFM
    空気消費量(除振装置4つ) < 2 SCFM (no stage motion)d>
    - 3 dB レスポンス ≤ 10 Hz (通常)
    高さ調節センサー
    タイプ 非接触誘導(渦電流)
    電子配置 2線式NAMUR
    3線式の30または18 mm径
    範囲 30 mmワイヤ用公称15 mm
    18 mmワイヤ用公称6 mm
    分解能 < 1 µmd>
    パッシブ空気ばね式マウント
    標準積載重量 1,000、2,500、3,300、5,700 ポンド@ 80 PSI
    ダンピング (10:1) < 3 sd>
    DC-2020デジタルコントローラ
    プロセッサー デュアルコア:
    DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz
    アナログI/O 32/24チャネル(16/16 bit)
    サンプリングレート 公称5kHz
    フロントパネル 電源スイッチ
    3色ステータスLED
    イーサネットRJ-45
    MicroSDカードスロット
    2x BNCソケット(入力または出力可能)
    2x USB 2.0ポート(タイプB、マイクロB)
    FWアップグレードボタン
    リアパネル 電源入力
    アナログI/Oソケット
    空圧ポート
    イーサネットRJ-45
    1x USB 2.0
    RS-232 DB 9
    リレーソケット
    ユーザーインターフェース USBまたはイーサネット経由のGUI
    使用電圧 90-240 VAC、50-60 Hz、最大100 W
    製品寸法(幅x深x高) 16.8 x 9.0 x 1.75 インチ
    427 x 229 x 45 mm
    1x 標準RETMAユニット
    出力増幅器
    チャンネル 8
    チャンネルごとの最大電流 7 A
    タイプ 線形
    ピーク電力 合計700 W
    冷却 周囲、強制空気
    保護 リセット可能なヒューズ、電子サーマル、過電流、不足電圧
    オペレーション リモートまたは手動
    寸法 RETMAラック1ユニット 高さ x 深さ15 インチ(381 mm)

    *仕様は構成によって異なる場合があります。
    **フィードフォワード制御とMaxDamp除振装置からの外乱振幅の10倍の減少に基づく整定時間。実際の「リングダウン」はフィードフォワード技術の影響を受けません。

  • アプリケーションノート +

    • Electro-Damp®

      Precitechの3軸(XYZ)超精密機械のFreeform Lに設置されたPEPS II-VX

  • 注文する +


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