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機器内アプリケーション用Micro-g除振装置

micro-g floor vibration isolators for OEM integration
  • 概要 +


    TMCの空気ばね式除振装置は、超精密機器に優れた除振装置を求める機器設計者にとって最適なソリューションです。TMCは現在、業界標準のGimbal Piston®MaxDamp®UltraDampp™除振装置を提供しており、幅広い用途に適した積載重量、ダンピングレベル、自動レベリングを選択できます。

    OEMアプリケーションに最適で、これらの除振装置はモジュール性、互換性があり、アップグレード可能な設計で提供されています。また、ご要望の整定時間と除振効果を満たす選択ができるように、TMCのエンジニアは、「ステージ移動アプリケーションモデル」を使用して構成をモデル化することができます。

  • TMCのメリット +


    OEMアプリケーション用に特別に設計 

    90 ~8,200 kg(200~18,000 ポンド)の範囲搭載許容装置

    振動の少ない環境でも高いレベルで振動を減衰

    ダンピングを複数のレベルから選択可

    高さを複数のバージョンでコントロール 

    互換性のある除振設計。高価な機器の再設計なしで、要求変化に容易に対応
  • 仕様および技術図面 +


    積載重量:
    ダンピングレベル:
    • Gimbal Piston™振動減衰を最大限にする
    • MaxDamp®共振を高ダンピング
    • UltraDamp™共振を最大にダンピングにする
    レベリングオプション:
    • 標準高さ調節(+/- 2.5 mm, +/- 0.1 インチ)
    • 精密高さ調節バルブ(+/- 0.25 mm, +/- 0.01 インチ)
    • PEPS® II非接触
    • 精密電子位置決めシステム(+/- 0.0025 mm, +/- 0.0001 インチ)
     
  • 性能 +


    3つのダンピングレベル。ステージ移動、ロボット動作があるアプリケーションには、最大の振動減衰もしくは積極的なダンピングを選択してください。


  • アプリケーションの写真 +

  • 注文表 +


    除振装置の注文表
    搭載可能重量 Gimbal Piston MaxDamp UltraDamp
    160 kg (350 ポンド) 62GP-0160 62MD-0160 62UD-0160
    450 kg (1000 ポンド) 62GP-0450 62MD-0450 62UD-0450
    1150 kg (2500 ポンド) 62GP-1150 62MD-1150 62UD-1150
    2600 kg (5700 ポンド) 62GP-2600 62MD-2600 62UD-2600
    高さ調節の注文表
    タイプ 空気入力の使用 部品番号
    標準バルブ 0.042 l/min (0.0015 cfm) SV62
    精密バルブ 0.42 l/min (0.015 cfm) PV62
    PEPS II 57 l/min (2 cfm) PEPS62