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PEPS® II アクティブエアレベリングシステム

  • 概要 +


    PEPS® IIは、TMCの特許取得済みPEPS®（精密電子測位システム）に基づき改良されました。新しいデジタルコントローラによってPEPS® IIは使いやすく、より多くの機能を提供し、ユーザーインターフェースも改善されています。PEPS® IIは、TMCの空気ばね式除振装置用、デジタル非接触性の高さ調節システムです。このようなシステムは通常、機械的な高さバルブや機械的な高さ検出リンク装置を搭載しています。アプリケーションには、半導体製造装置の整定時間の改善と生産性の向上させるものから、最適なノイズ性能と定盤の安定性が要求される精密なラボ環境作りをするものまで様々あります。 

    米国特許第5,832,806号

  • 特長 +


    • デジタル制御、使い勝手の良いLCDインターフェース
    • Gimbal Piston™、CSP®、MaxDamp®除振台用の非接触性電空式高さ調節装置
    • Z軸位置繰り返し精度：10ミクロン
    • 従来の機械製の高さ調節システムのレバーへの接触を排除することで除振効果を改善
    • XYステージモーションに対するZ軸の反応を最小限にする空気ばね式フィードフォワード機能
    • X-Yステージによって誘発されたモーションを即座に安定させるためのチューニングも可能
    • オプションの "VX"機能は、垂直型除振装置の共振をアクティブダンピングするための慣性センサーを採用
    • 「ソフトドック（軟結合）」対応。運動学的マウントなしでウェハーのロード/アンロードが可能
    • 比例電子バルブ。「オン・オフ」または従来の電子バルブによるパルスノイズなし
    • 清浄された排出空気用の排気管
    • ロジックドックの制御とステータス

  • 仕様 +


    物理的寸法
    PEPS® II コントローラー 高さ1.72インチ(43.7mm) x 幅8.0インチ(203mm) x 深さ9.4インチ(240 mm)
    重量
    PEPS® IIコントローラー：約3.0 ポンド（1.2 kg）
    使用環境
    （参照：EN 61010-1：1993、
    EN 61010-1/A2：1995）
    屋内のみでの使用、最高2,000m（6560フィート）の高さまで
    許容温度範囲：5～35°C
    最高許容湿度：31°Cまで80%、40°Cで相対湿度50％まで比例して減少
    主要供給電圧の公差：85～240 VAC
    過電圧カテゴリー：2
    汚染度（IEC 664）：2
    換気装置の必要条件：サイドに25 mmの空間、上下に0 mmの空間
    供給電源
    入力電圧範囲：90～230 VAC
    入力周波数範囲：50-60 Hz
    PEPS® II ユーザーインターフェース
    (フロントパネル)
    電源スイッチ
    4 メニューボタン
    LCDディスプレイ20 x 2文字
    2つの診断ソケット（BNCタイプ）
    3色ステータスLED
    USB ポート
    PEPS® II インターフェース
    （リアパネル）
    EMIフィルタ付きAC電源入力
    1x 外径1/4インチのチューブ用エアーインプット スナップイン・ポート
    1x 外径1/4インチのチューブ用エアーアウトプット（排気）スナップイン・ポート
    4x 外径1/4インチのチューブ用エアー・スナップイン・ポート（除振装置ごとに1つずつ）
    DB-25オス入出力とフィードフォワードソケット
    1x フェニックス 0.2インチ ピッチ 6ピン グリーンヘッダ（垂直近接センサー）
    1x フェニックス3.5 mm ピッチ 6ピン ブラックヘッダー（水平近接センサー）
    接地ねじ切りスタッド（#10-32ねじ）
    DB-25 F ソケット：1xデジタル入力、3xジオフォンセンサーインターフェース（“-VX”オプション）
    DB-25 F ソケット：1xデジタル入力、3x電流出力近接センサー（オプション）
    PEPS® II
    性能
    仕様
    アナログ入力（単極）：8×12ビット（オーバーサンプリングを使用して16ビット）、03.0 Vフルスケール
    アナログ入力（フィードフォワード）：5 x 12 bit
    （オーバーサンプリングを使用して16ビット）、±9 V フルスケール
    アナログ入力（単極） 保護：+5 V、-0.5 V クリッピング
    アナログ入力（フィードフォワード） 保護：±15 V　クリッピング
    アナログ出力：4 x 12ビット（オーバーサンプリングを使用して16ビット）、03.0 V フルスケール
    アナログ出力（オプション）：8 x 16 ビット、0...3.0 V フルスケール
    アナログ出力保護：無限短絡保護、+5V クリッピング
    デジタル入力電圧定格：0...+3.3 V、+5V 耐圧（+5Vクリッピング）
    デジタル出力定格：0...+3.3 V、最大 20 mA
    デジタル I/O 保護：+5 ボルト、-0.5 V クリッピング
    外部利用可能電力：+5VDC、最大2.0A/+15VDC、最大1.0A（最大20W）
    通信ポート：USB、PC表示RS-232
    プロセッサ：ARM7TDMI / 41.78 MHz
    制御ループレート：100Hz～2.0KHz
    近接センサー：垂直3倍（オプションで水平3倍）渦電流、NAMUR 0～20mA出力
    速度センサー - ジオフォン（「-VX」オプション）：垂直3倍、電流出力
    空圧
    仕様
    長期的な高さ安定性：±50 µm
    長期的な傾斜安定性：±50 マイクロラジアン
    サーボバルブ：4 x 2ウェイ可変オリフィス比例サーボバルブ
    バルブテクニック：ピュアクラスA
    最大入力圧力：120 PSIまたは8.3 Barまたは830 Kpa
    公称空気消費量：60 slpm (2 scfm)
    空気の必要条件：20ミクロン以上にフィルタリングされたきれいで乾燥した空気
    フェールセーフ：電源障害または電源オフ時に装置減圧
    空圧継手：外径1/4 インチホースの「ワンタッチ」クイック継手

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