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Mag-NetXアクティブ磁場キャンセル

Mag-Netx Helmholtz Coil for magnetic field compensation
  • 概要 +


    あらゆる荷電ビーム計測器に使用するために設計されているMag-NetXは、磁場変動の補正のための革新的なアクティブ制御システムです。ユーザーにデジタルインターフェースを採用した独自のアナログコントローラーを使用して、Mag-NetXは、継続的なモニタリングによる、さらなるリアルタイム制御を提供すると同時に、シンプルな内蔵LCDやPCベースのグラフィカルユーザーインターフェース(GUI)もお客様に提供しています。GUIを介して表示された測定磁場の連続的なモニタリングは、顕微鏡画像に依存しなくても微調整ができます。また、自動チューニングは、一般的なSEMアプリケーションの起動を容易にします。

    ヘルムホルツタイプの構成は、部屋の壁のトラックに取り付けるか、もしくはエンクロージャに直接取り付けるかして、自立ケージにも使用可能です。Mag-NetXはお客様のニーズとアプリケーションに合った構成ができます。

    走査型顕微鏡、透過型顕微鏡、電子ビームリソグラフィー、イオンビーム計測器に対する磁場補正および振動制御の両方について、最も厳しい要求をもってTMCに挑戦してください。

  • Mag-NetXのメリット +


    デジタルインターフェース搭載のアナログコントローラー - ヘルムホルツコイルを使用してアナログ制御することで、より精密でリアルタイムな制御が可能になります。デジタルパネルは、シンプルなLCD読み出し装置もしくは、PCベースのグラフィカルユーザーインターフェース(GUI)をユーザーに提供しています。

    オンサイトチューニングの柔軟性 - 一般的な環境とアプリケーションのスタートアップ時の自動チューニングや、もっと困難な環境のための調整可能なオンサイトチューニング。

    リアルタイムモニタリング - PCベースのGUIを介して表示された測定磁場の連続的なモニタリングは、顕微鏡画像に依存しなくても微調整ができます。

  • 特長 +


    • ヘルムホルツコイルは対称性と均一性を最大にするためにペアになっています
    • 連続磁場キャンセルとモニタリング
    • 複数のACおよびDC制御モードが利用可能
    • 100倍の磁場改善(代表値)
    • 動的解析、100 µs 応答
    • 正確な磁場測定
    • グラフィカルユーザーインターフェースによる継続的なシステムモニタリングと分析
    • オプションの電源周波数と高調波のフィードフォワード補正機能
    • オプションの他のインプットに対するフィードフォワード機能
    • オプションの外乱を抑えつつ、カスタムフィールド作成する機能
    • 組み立てが簡単なステンレススチール製ケージで、室内のウォールマウントシステムも利用可能
    • どんなサイズでも利用可能なケージシステム
    • プレナム定格ケーブルが付いた壁取り付けおよびエンクロージャに取り付けられた構成

     


  • 性能 +


    図1:外部励磁駆動コイルの外乱磁界の強度に対して外部センサー信号の大きさは測定されます。システムセンサーの位置で最大の性能を発揮します。外部励磁駆動コイルの外乱磁界の強度に対して外部センサー信号の大きさは測定されます。励磁コイルがヘルムホルツケージの外側に配置され、外部センサーコイルがシステムセンサーの周りに配置されています。ケージの寸法により、Zの補正磁場は均一度がX、Yより低くなっているので、Zの抑制が低くなります。 
  • 仕様 +


    システム
    システム構成 3軸直交磁気センサー、Mag-NetXコントローラー、ケージ内のヘルムホルツ型コイルペア、エンクロージャへの取り付けまたはウォールマウント構成図
    アクティブ磁場キャンセル軸 X、Y、Z
    センサータイプ フラックスゲート型、ノイズ <10 pT/>√Hz @ 1 Hz
    最大周囲DC磁界(センサー別) ±70 µT 標準
    最大 ±250 µT まで利用可能
    帯域幅(ケージとセンサー別) DCは通常1kHz、最大2kHz
    ダイナミックレンジ(ケージと周波数別) 通常±10 µT、最大±100 µTまで
    通常40 dB、最高 55 dBまで
    ボリューム制御 vs. 磁束密度 50 m3 @ 10 µT RMS (ケージパラメータにより異なります)
    1 m3 @ 50 µT RMS (標準コントローラーは特別なケージ構造により地磁気を打ち消すことができます)
    10 m3 @ 50 µT RMS (特別なケージと外部アンプを使用してより大きなボリュームの地磁気を打ち消すため)
    センサー位置における磁場減少率
    36 x 36 x 52 インチ の一般的なケージを使用 /
    91 x 91 x 132 cm (長さ x 幅 x 高さ)
    DC 100 Hzで通常40~50 dB (100x~300x)
    100-500 Hzで通常 26 dB (20x)
    一般的な電子顕微鏡の
    以下のカラムボリュームにおける磁場縮小率
    12 x 12 x 24 インチ / 30 x 30 x 60 cm
    60 x 60 x 84 インチ のケージを使用
    1152 x 152 x 213 cm (長さ x 幅 x 高さ)
    X、Y:DC 100 Hzで通常 30 dB (32x)
    X、Y:100-500 Hzで通常 20 dB (10x)
    Z:DC 100 Hzで通常 15 dB (5.2x)
    Z:100~500 Hzで通常 10 dB (3x)
    1000 Hzで 0 dB
    コントローラー
    寸法 17 x 9 x 1.75 インチ / 43 x 23 x 4.5 cm
    操作モード 電源入力後:
    • 自動セルフテスト/キャリブレーションを行い、1分で制御モードに切り替わります。ユーザーの介入は必要ありません。
    • 手動テスト/デバッグモード
    • 真の実効値DCモード(地磁気補正)
    • オフセットDCモード(地磁気を無視)
    • 顕微鏡部品移動によるDCシフトの追跡
    • 準DCモード(100秒より長いの変動は無視)
    • キャンセルと作成(外乱を打ち消すと同時にカスタムフィールドを作成)
    制御ツールの種類
    • デジタルで制御されたゲインのアナログフィードバック、DC - 2 kHz
    • デジタルフィードバック
    • デジタルフィードフォワード(AC電源周波数とフィードバックのゲインの安定限界なしの高調波を打ち消す)
    OK LED表示 緑= OK、黄色=警告/エラー
    LCD 2x20 記号表示 メニューとステータスを表示
    バー型LED表示 補正磁場のXYZリアルタイムの強度を表示
    4方向ボタン LCDメニューナビゲーション用
    USBソケット(PCにCOMポートとして表示) 高度なチューニング/テストのためのグラフィカルユーザーインターフェース、ASCIIコマンドを受け取り、メニューを表示
    アナログAUX入力(後面DB-37) フィードフォワードとして使用することも、もしくはカスタムフィールドを作成することもできます。
    GO - NO GO信号中継 バイナリ、保護されたシステムのインプットとして使用
    供給電源 90-240 VAC、50/60 Hz、最大500 VA
  • ヘルムホルツコイルのケージ構成 +

    • カラムマウント型ヘルムホルツコイル
      • カラムマウント型ヘルムホルツコイルは、容易にSEMカラムに適合しますが、TEMでは実用的ではありません。
    • フロアマウント型ヘルムホルツコイル
      • フロアマウント型ヘルムホルツコイルは、SEMとTEMの両方に使用できます。
    • レッグフレームのヘルムホルツコイル
      • ヘルムホルツコイルは、TMCレッグフレームにマウントすることができます。
  • ヘルムホルツコイルのウォールマウント構成 +


    ウォールマウント型コイルは、部屋の中央付近に設置されたTEMとSEMに使用されるカラムとフロアマウント型コイルの実質的な代替品です。


    Mag-NetXヘムホルツコイルウォールマウント型磁場キャンセルシステム
    1. 受動的に遮蔽された部屋に取り付けるための特別な設計が可能
    2. ヘルムホルツ型ケーブルを収納した、壁に直接マウントされた2つの耐タンパー性PVC定格電源チャンネル
    3. 独立したX-Y-Zリードが標準装備された、低ノイズDC-5 kHzのフラックスゲートセンサー。センサー、センサー構成に複数のオプションを用意しています。
    4. すべてのウォールマウント型ルームシステム用のプレナム定格ケーブル
    5. 場所に合わせてカットし整えられた敷居用のアルミニウム製カバー
    6. 必要に応じて、大きな部屋を仕切るためのPVCもしくはアルミニウム製床敷居

     Mag-NetXウォールマウント型ヘルムホルツ磁場キャンセルシステム構成オプション
     
  • コントローラーとセンサー +


    Mag-NetXコントローラーとセンサーの特長
    一般的なセンサーの取り付け
    Mag-NetXの一般的なセンサー取り付け場所
  • アプリケーションノート +

    • Mag-NetX®

      設置前と設置後の画像 Mag-NetX®を装備したSEM-Base®の上に搭載されたZeiss Auriga FIB-SEM

    • Mag-NetX®

      磁場キャンセルとカスタム磁場の生成に使用するBartington Instrumentsの磁気計

  • アプリケーションの写真 +

  • 注文する +


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    アプリケーションエンジニアが、お客様のご要望に合わせてシステムを構成し、お見積もりいたします。