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ピエゾ式 アクティブ除振台

 

The STACIS family of active piezoelectric vibration isolation solutions
  • stacis III active piezoelectric vibration isolation system
    STACIS III

    STACIS IIIは、連続的に床振動を測定し、その後、高性能のピエゾ式アクチュエータを拡張、収縮伸縮させることで床振動をフィルタリングし、リアルタイムに振動を打ち消します。

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  • stacis III active piezoelectric vibration isolation system
    STACIS IIIc

    Compact low-profile version of STACIS III. Ideal in situations where there is no, or very low, raised floor.

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  • Quiet Island CleanRoom Semiconductor fab isometric
    STACIS Quiet Island

    大型機器に影響を与える建物の振動に効率的なソリューションです。上げ床エリアのセクションを、下のサブフロアとしっかり固定されている「Island」と置き換えます。

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  • Compact Quiet Island
    STACIS Compact Quiet Island

    A low profile version of STACIS Quiet Island. Ideal in situations where there is no, or very low, raised floor.

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  • Floor platform with active piezoelectric vibration isolators
    フロア定盤

    TMCのSTACISフロア定盤は、ステンレススチール製定盤と、ユニークな「リフトフッド」設計を組み合わせ,除振台が定盤を「載せた」状態にしており、装置を床から上げる高さを最小にできます。機器の設置面積または他の所望の形状と適合するように定盤をカスタム設計することもできます。

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  • SEM-Base - the best floor vibration isolation for most SEMs and TEMs
    SEM-Base VI

    ほとんどの市販のSEMとSEMの類似型の装置を、あらゆるラボの床に設置するために設計されたアクティブ除振フロア定盤。顕微鏡の振動基準を満たす理想的なソリューション。

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  • SEM-Base LP thumbnail
    SEM Base LP for Thermo Fisher

    Custom, low profile version of SEM-Base tailored to fit under the frames of many Thermo Fisher Scientific tools.

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  • Hybrid optical table vibration isolation system
    TOOL-Base

    この製品は、使用する装置が一般的なSEMより大きかったり、重かったり、または、設置場所の高さ制限がある場合に最適です。

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  • Hybrid optical table vibration isolation system
    LaserTable-Base

    究極の除振性能を実現する空気ばね式とピエゾ式除振装置が融合した光学定盤用支持脚。

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  • Vibration cancellation system for moving stage semiconductor tools
    Stage-Base

    高精度電動駆動X-Yステージを搭載した高度な半導体機器の主要な除振台として特別に設計されています。

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