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STACIS Quiet Island

raised floor 3d rendering setup
  • 概要 +


    半導体製造工場(ファブ)、ナノテクノロジーセンター、ナノファブ、その他の精密製造と研究施設では、多くの場合、複雑な設備要件(配管、電気ケーブル、ガス配管など)に対応し、厳格な清浄度基準を維持するために、クリーンルームに疑似的な上げ床のシステムを組み込んでいます。このようなフロアは、振動にセンシティブな製品、検査機器、計測機器の設置に課題を提起します。上げ床はそのような機器に必要となる振動の少ない環境を提供することはできません。TMCのQuiet Islandは、上げ床部分のセクションと、下のサブフロアとしっかりと固定した「Quiet Island」を置き換えた革新的なソリューションです。Quiet Islandは、クリーンルーム対応の定盤とアプリケーション、その現場特有の支持脚を組み合わせて構成されています。

    除振

    Quiet Island独自の主なサポート要素とコアな技術は、STACIS IIIアクティブ除振装置です。この「高剛性」スタイルの慣性除振脚システムは、あらゆる振動にセンシティブな機器にとって重要であり、そのような機器が騒音の多い環境でも最高水準で動作することを可能にします。STACIS IIIは、自動ウェーハ処理機器、高分解能eBeamイメージング機器、イオンビームミリング機器、そしてパッシブとアクティブの両方において内部除振装置を備えたあらゆる機器と互換性があります(アクティブ除振装置、積層アクティブの白書を参照)。さらに、市販されている中で、最も広い周波数範囲で最も多くの除振効果を提供します。また、「ハードマウント」のデザインは非常に高い剛性があり、背の高い、重心の高い機器にも安定性に関するご心配はありません。

    ライザーと支持脚

    STACIS除振装置を支持する非常に頑丈で耐久性の高いライザーは、TMCの経験豊富なエンジニアチームによって設計され、弊社のISO 9001工場で溶接認定を受けて高水準で製造されています。それぞれのQuiet Islandは、多様な上げ床の高さ、サブフロアの配置、機器の設置面積に適合するように設計されています。世界中で200以上の多様な機器モデルの何千もの設置に携わり、TMCは、STACISとお客様の設備のニーズを満たす支持脚を設計する知識と経験を持っています。

    高剛性定盤

    この定盤は、TMCによる設計で、軽量で非圧縮性でダンピングされたコア材を間に挟んだ、厚さ4インチ(100mm)のラミネート加工されたスチール板で製造されています。スチール板とシームレスなステンレススチールパンにエポキシ接着されたコア材を層状にしたことで、非常に高いレベルの剛性と構造減衰が実現できます。大きな横断面およびスチール含有量は、全体的に非常に高いレベルの剛性をもたらします。定盤表面と側面は、清潔さ、外観、清廉さを保つために、一枚のつながったステンレススチールの外板で作られています。TMCは、カットアウト、特殊形状、固定穴、リフティングボルトを組み込んだそのアプリケーション個別の定盤の設計と製造をします。

  • Quiet Islands vs. Quiet Buildings +


    Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

    Statistical representation graph of vibration increase over time in a typical building

    Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter [2]

    It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

    The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

    TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

    See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.

    1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

    2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

  • Quiet Islandのメリット +


    • STACIS搭載 - TMCのアクティブピエゾ式除振技術は、ハードマウント設計と0.6 Hzで開始する除振、内部に除振装置を組み込んだ機器との互換性もあり、業界で並ぶものがありません。
    • モジュール性、カスタマイズ性、再配置の柔軟性 -個々の定盤は個別にお客様のアプリケーションに合わせてカスタマイズされますが、コンクリート製の台座とは異なり、機器や床の特性が変わると容易に再構成することができます。
    • 専門知識 - TMCは、世界をリードする半導体メーカー、科学技術施設、超精密OEMと連携しており、幅広い経験を持っています。弊社は弊社のお客様とそのニーズを知っています。弊社は社内で設計し、製造しています。
     
  • 性能 +



    高さ24インチで40インチx60インチのQuiet Island、4つのSTACIS除振装置、床からのVC-C入力での透過率を測定



  • 仕様 +


    除振仕様については、STACIS® IIIを参照してください。
    定盤表面 ステンレススチールの定盤表面と側面;
    エポキシ塗装スチールのボトム
    定盤構造 独自の多層ラミネート加工されたスチール
    寸法 オーダーメイド
    標準の高さ 15、18、20、24、30、36、48インチ
    38、46、51、61、76、91、122 cm
    高さのカスタマイズも可能
    搭載可能重量 オーダーメイド
    剛性があるライザーと支持脚 認定された溶接、全スチール製構造、
    クリーンルーム対応、パウダーコート仕上げ
    オプション 制御ブラケット、リフティング用の定盤アイボルト、
    ワッフルタイプのサブフロア用のブリッジプレート
    定盤のバリエーション カットアウト、貫通穴、機器固定用タップ穴
  • その他のQuiet Islandの構成 +


    クリーンルームのrigid quiet islandの見取図Quiet Islandの剛性がある支持脚

    振動の環境仕様のない大型の機器は、非常に多くの場合、上げ床と隔てられた剛性があり安定性のある支持脚を必要とします。Rigid Quiet Island は理想的なソリューションです。同じ高性能定盤を備えたRigid Quiet Islandsは、上げ床のクリーンルームへ設置するのに、いかなる高さ、サブフロアのジオメトリ、多様な機器の設置面積にもカスタム設計できます。TMCは、幅広い要件に対応するために幅広いタイプの支持脚を用意しており、それによりその機器や半導体製造工場特有のソリューションを得られ、さらにモジュール式なので、再配置の柔軟性を提供し、アップグレードも可能です。

  • アプリケーションの写真 +

  • 動画 +

  • セットアップガイド(PDF) +

  • 注文する +


    Quiet Island®サブフロア定盤に設置された機器の複雑さ、センシティブさ、価値のため、発注用の標準カタログ番号はございません。弊社は、設置一つ一つをカスタム設計ソリューションだと考えています。推奨される注文の手順は次のとおりです:

    • 除振したい設備または機器を教えてください。すでに設置されたベースの中で、お客様のアプリケーション要件に合った定盤をすでに設計している可能性があるからです。さらに、ステッパー、アライナー、SEM、および他の機器メーカーと密接な連携をとっており、サイズ、形状、重量変化、床振動仕様を最新の情報にしています。
    • あるいは、上げ床のグリッドシステムに収まるシステムもご用意できます。多く方は、偶数の床タイルと置き換えられるように、47 x 47インチ(1,190 x 1,190 mm)の定盤を選択します。
    • ソリッドサブフロアの上の上げ床の高さを教えてください。
    • サブフロアもしくはスチール梁、ワッフルスラブジオメトリの穴のパターンは、ご説明いただくか、イラストで示してください。
    • 床振動データをご提供いただくか、データの測定方法を弊社と協議しましょう。
    • 装置の振動のセンシティブさを考慮してください。多くの機器は、弊社の剛性があり非共振性のポスト設計で十分に設置できます。よりセンシティブなアプリケーションには、空気ばね式かピエゾ式による支持が必要です
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