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SEM-Base VI

SEM-Base active vibration isolation platform for electron microscopes

  • 概要 +


    SEM-Base®VIは、STACISアクティブピエゾ式除振の次世代製品です。SEM-Base VIは、すべての市販の走査型電子顕微鏡（SEM）と同様に多くの集束イオンビーム（FIB）と小型デュアルビーム計測器を支持するように設計されています。SEM-Base VIは、改善された除振性能、より高速で頑丈なコントローラー、そして高度なグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を提供します。SEM-Base VIは、多くのラボと施設の床振動レベルが機器メーカーの仕様を満たすことを可能にします。 

    SEM-Base VIは、ユニークな「直列型構造」を採用しており、振動センサーは搭載装置の振動ではなく、床振動を測定します。これにより、他の設計とは異なり、もともと搭載装置の共振が除振を制限したり、不安定性を引き起こすことはありません振動センサーは、低周波の慣性速度センサーで、サブHz範囲を測定するのが難しい場合、最大の感度を実現します。弊社のユニークなピエゾ式アクチュエータ技術を組み込んだSEM-Base VIは、すでに振動の少ない床においても、非常に高いレベルで振動を打ち消すことができます。 

    SEM-Base VIは、平均して以前のモデルよりもさらに 6 dB多い除振を実現しています。さらに、TMCの次世代コントローラーであるDC-2020には、新しいデュアルコアプロセッサーが搭載されており、機器の所有者と研究者が、迅速なシステム評価が実現でき、操作上の安心がもたらされるように、非常にシンプルで使いやすいグラフィカルインターフェースを提供しております。Ethernet経由で接続する場合、DC-2020は、SEM-Base GUIをユーザーのブラウザに生成します。追加のソフトウェアやアプリケーションプログラムのインストールは必要ありません。あるいは、ユーザーは、搭載されたメニュー形式の液晶ディスプレイ（LCD）を介してコントローラーとこにゅにケーションをとることができます。 


    注意：SEMを保護するために特別に設計された総合的な環境ソリューションであるSEM-Closureを参照してください。密閉され、温度制御された防音チャンバーにSEM-BaseとMag-NetX®を収容でき、振動、外乱磁場、および音響ノイズからSEMを保護します。

  • SEM-Base VIの利点 +


    ハードマウント技術 - SEM-Base VIは、すべての内部SEM振動制御システムと互換性があり、積極的に低周波床振動を軽減します。0.6 Hzから除振を開始します。

    アクティブ慣性除振 - SEM-Base VI は振動の少ない床においても、高レベルの振動減衰効果を実現するために、高感度で低周波慣性速度センサーを採用しています。 

    ピエゾ技術を用いた直列設計 -ユニークな直列設計と独自の高性能のピエゾ技術によって、0.6Hz〜150Hzの幅広くアクティブな帯域幅と、2Hzから90％の振動を低減で、例を見ない慣性アクティブ振動の減衰を実現しています。

  • 仕様 +


    性能仕様
    アクティブな自由度 6
    アクティブな帯域幅 0.6 Hz - 100 Hz
    パッシブ固有周波数 公称12 Hz
    有効アクティブ共振周波数 0.5 Hz
    1 Hzで除振 40％～70％
    2 Hzで除振 90%
    3 Hz以上で除振 90～98％
    内部ノイズ <0.1 nm RMSd>
    使用積載重量範囲 標準搭載可能重量：900～2,500 ポンド (408～1134 kg)
    高搭載荷重：2,500～3,200 ポンド (1134～1452 kg)
    放射磁界
    最大4インチ(102 mm)
    定盤での    		 <0.02 μG broadband RMSd>
    設計、寸法、環境要件、ユーティリティ要件
    環境基準と安全 CEおよびRoHS準拠
    アクティブ除振素子 最小で3300ポンド（1500 kg）の搭載可能重量を持つピエゾ式アクチュエータは、最大800VDCの出力を持つ高電圧アンプから信号を受信します。垂直アクチュエータは、除振される搭載装置を支持します。
    パッシブ除振素子 個別の剛性エラストマー（圧縮空気の供給不要）
    振動センサー素子 除振装置下の床振動を測定する
    下向きのジオフォン型慣性センサーは
    振動速度に比例した電圧を供給します
    アクティブフィードバック制御ループ 隔離された表面をサポートする
    ばねの下で床振動を測定し、
    処理し、そして減衰します
    製品寸法（幅x深） 35.25 x 44.25 インチ
    895 x 1124 mm
    高さ 6.3 インチ (160 mm) 公称、
    SEM-Baseの電源がオフになっても変化なし
    動作温度 50～90°F
    10～32°C
    保管温度 -40～130°F
    -40～55°C
    湿度 < 80% @ 68° F | 20° C, max dewpoint 18oC
    システムの電源要件 100、120、230、240 VAC
    50/60 Hz AC、 <600 W
    CE準拠
    床振動の変位 <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
    内蔵コントローラーの仕様
    プロセッサー 150/75 MHz　デュアルコア
    サンプリングレート 10 kHz
    アナログ出力 16チャネル
    アナログ入力 16チャネル
    ステータスライト 単一LED
    フロントパネルポート 1x シリアルUSB 2.0
    1x シリアルMicroUSB
    1x イーサネット RJ-45
    2x BNC
    ユーザーインターフェース フロントパネル LCD ディスプレイ
    HyperTerminal のキャラクターメニュー
    Microsoft Windows用拡張GUI
    内蔵型イーサネットGUI

  • 性能 +



    1800 ポンド（818 kg）の搭載装置をVC-C (500 マイクロインチ/s、12.5 µm/s RMS)のシミュレーション振動でテスト

  • アクセサリ +


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  • アプリケーションの写真 +


    Scanning electron microscope on SEM-Base VI SEM-Base VI　アプリケーション　171103

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  • アプリケーションノート +

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      SEMイメージング

      SEM-Base®の上に搭載された日立S-4800設置前と設置後の画像

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      SEMイメージング

      設置前と設置後の画像　Mag-NetX®を装備したSEM-Base®の上に搭載されたZeiss Auriga FIB-SEM

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      ケーススタディ

      アクティブピエゾ式除振装置は高度な電子およびイオンビーム計測器を厳しい都市環境下での使用を可能にします

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      ダイヤモンド切削品質の向上

      ダイヤモンド切削されたスマートデバイスのカメラレンズ成形金型の回折色を除去するために、表面の粗さを最小限にする

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