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SEM Base LP for Thermo Fisher

SEM-Base LP floor vibration cancellation for Thermo Fisher scientific tools
  • Overview +


    SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform. SEM-Base LP is easier to install, provides outstanding performance, and is ergonomically optimized. The compact design facilitates installation without lifting the Scanning Electron Microscope (SEM) column with anything other than the SEM’s built-in leveling feet. And, once installed, the SEM’s height above the floor does not increase. SEM-Base LP incorporates our unique STACIS piezo technology and has the same vibration cancellation performance as our industry-standard SEM-Base VI. SEM-Base LP includes casters and is designed specifically to integrate with many Thermo Fisher Scientific (formerly FEI) tools.

    SEM-Base LP on a TFS frame iso view SEM-Base LP on a TFS frame side view

    Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

  • Compatible Thermo Fisher Tool Models +


    SEM-Base LP is compatible with many Thermo Fisher Scientific models including:

    • Apreo
    • Aquilos
    • Helios 5
    • Nova NanoSEM x50
    • Prisma
    • Quattro S
    • Scios
    • Teneo
    • Verios 5
    • Versa 3D

    If your SEM/FIB is not listed, contact TMC to check for compatibility.

  • The SEM-Base VI Advantage +


    Hard-Mount Technology – SEM-Base VI is compatible with all internal SEM vibration control systems and aggressively mitigates low frequency floor vibration starting at 0.6 Hz.

    Active Inertial Vibration Cancellation – SEM-Base VI uses high sensitivity, low frequency inertial velocity sensors to achieve high levels of vibration attenuation, even on quiet floors. 

    Serial Design with Piezoelectric Technology – The unique serial design and proprietary highforce piezoelectric technology results in a wide active bandwidth from 0.6 Hz to 150 Hz and unmatched, inertial active vibration cancellation with 90% reduction starting at 2 Hz.

  • Performance +



    1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

  • 仕様 +


    性能仕様
    アクティブな自由度 6
    アクティブな帯域幅 0.6 Hz - 100 Hz
    パッシブ固有周波数 公称12 Hz
    有効アクティブ共振周波数 0.5 Hz
    1 Hzで除振 40%~70%
    2 Hzで除振 90%
    3 Hz以上で除振 90~98%
    内部ノイズ <0.1 nm RMSd>
    使用積載重量範囲 標準搭載可能重量:900~2,500 ポンド (408~1134 kg)
    高搭載荷重:2,500~3,200 ポンド (1134~1452 kg)
    放射磁界
    最大4インチ(102 mm)
    定盤での
    <0.02 μG broadband RMSd>
    設計、寸法、環境要件、ユーティリティ要件
    環境基準と安全 CEおよびRoHS準拠
    アクティブ除振素子 最小で3300ポンド(1500 kg)の搭載可能重量を持つピエゾ式アクチュエータは、最大800VDCの出力を持つ高電圧アンプから信号を受信します。垂直アクチュエータは、除振される搭載装置を支持します。
    パッシブ除振素子 個別の剛性エラストマー(圧縮空気の供給不要)
    振動センサー素子 除振装置下の床振動を測定する
    下向きのジオフォン型慣性センサーは
    振動速度に比例した電圧を供給します
    アクティブフィードバック制御ループ 隔離された表面をサポートする
    ばねの下で床振動を測定し、
    処理し、そして減衰します
    製品寸法(幅x深) 35.25 x 44.25 インチ
    895 x 1124 mm
    高さ 6.3 インチ (160 mm) 公称、
    SEM-Baseの電源がオフになっても変化なし
    動作温度 50~90°F
    10~32°C
    保管温度 -40~130°F
    -40~55°C
    湿度 80% at 68 deg F (20 deg. C), Max dewpoint: 18 deg C
    システムの電源要件 100、120、230、240 VAC
    50/60 Hz AC、 <600 W
    CE準拠
    床振動の変位 <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
    内蔵コントローラーの仕様
    プロセッサー 150/75 MHz デュアルコア
    サンプリングレート 10 kHz
    アナログ出力 16チャネル
    アナログ入力 16チャネル
    ステータスライト 単一LED
    フロントパネルポート 1x シリアルUSB 2.0
    1x シリアルMicroUSB
    1x イーサネット RJ-45
    2x BNC
    ユーザーインターフェース フロントパネル LCD ディスプレイ
    HyperTerminal のキャラクターメニュー
    Microsoft Windows用拡張GUI
    内蔵型イーサネットGUI

  • Video +

  • To Order +

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