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STACIS III

STACIS III pods and controller on white bg

  • 概要 +


    STACIS® IIIは、柔軟性のある高度なアクティブ除振装置です。最先端の慣性振動センサー、非常に高度な制御アルゴリズム、最先端のピエゾ式アクチュエータを装備したSTACISは、継続的に床振動を測定し、非常に高度なピエゾ式アクチュエータを拡張、伸縮させることで、床の動きをフィルタリングして取り除き、リアルタイムで振動を打ち消します。

    STACISは当初、高度な半導体工場で精密マイクロリソグラフィー、計測機器、検査装置を除振するために設計されましたが、現在では、半導体製造工場、故障解析ラボ、ナノテクノロジー研究、ナノファブリケーション施設、材料研究を含みますがこれに限定されない、ノイズの多い環境において最もセンシティブな機器の業界標準ソリューションです。

    STACIS IIIには、新しく、改良されたデジタルコントローラであるDC-2020が含まれています。新しいデュアルコアプロセッサーとイーサネットと、フロントとリアパネルにUSB直列ポートを装備したこの最先端の制御システムは、ユーザーにモダンで使いやすいグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を提供します。世界中で何百もの設置に成功しており、STACISは振動に非常にセンシティブな機器に理想的な除振装置です。 

  • STACIS Web GUI +


    STACIS active piezoelectric solutions can be controlled via an intuitive web-based user interface (Web GUI) from a web browser* on a PC - no additional software is required.

    STACIS vibration isolation Web GUI home screen

    The Web GUI allows users to view status, manage operation and setup, and enter diagnostic commands.

    STACIS vibration isolation Web GUI control screen
    Web GUI Plus

    TMC offers and enhanced version of the Web GUI for advanced users. It's a cost-effective alternative to a TMC Service Engineer on-site visit.

    STACIS vibration isolation Web GUI oscilloscope

    Web GUI Plus includes additional advanced diagnostic capabilities, as well as a built-in oscilloscope that can monitor vibration input and output for each axis.

    *Chrome and Firefox officially supported. Other browsers may work as well.

  • STACIS IIIの利点 +


    STACISは空気ばね式除振装置よりも何百倍も剛性で、空気ばね式除振装置が持つ制限に一切悩まされることはありません。アクティブ空気ばね式システムとは異なり、柔らかいサスペンションはなく、STACISは、両方のシステムを完全に最適した状態で内部空気ばね式アクティブ除振装置を備えた装置の下に設置することができます。

    ユニークな直列設計と独自の高性能のピエゾ技術によって、 
    0.6Hz〜150Hzの幅広くアクティブな帯域幅と、2Hzから90％の振動を低減でき、例を見ない精密なアクティブ除振を実現しています。

  • 性能 +



    4,500 ポンド（2,045 kg）の搭載装置をVC-C (500 マイクロインチ/s、12.5 µm/s RMS)のシミュレーション振動でテスト

  • 仕様 +


    性能仕様
    アクティブな自由度 6
    アクティブな帯域幅 0.6 Hz - 150 Hz
    パッシブ固有周波数 18 Hz　垂直および水平
    有効アクティブ共振周波数 0.5 Hz
    1 Hzで除振 40％～70％
    ≥2 Hzで除振 ≥90%
    10ポンド（4.5kg）のステップ入力（10：1の減少）後の整定時間 0.3秒
    内部ノイズ <0.1 nm RMSd>
    除振装置あたりの搭載荷重範囲 低い搭載荷重：400～1,100 ポンド (182～500 kg)
    中程度の搭載荷重：900～2,100 ポンド (410～955 kg)
    高い搭載荷重：1,900～4,500 ポンド (864～2,045 kg)
    剛性（1,000 ポンド / 454 kgの質量、中間の搭載可能重量除振装置） 40,000 ポンド/インチ（73×105 N / m）
    除振装置から最大4 インチ（102 mm）での放射磁場 <0.02 μG broadband RMSd>
    除振装置の設計、寸法、環境要件、ユーティリティ要件
    環境基準と安全 CEおよびRoHS準拠
    アクティブ除振素子 最小で3300ポンド（1500 kg）の搭載可能重量を持つピエゾ式アクチュエータは、最大800VDCの出力を持つ高電圧アンプから信号を受信します。垂直アクチュエータは、除振される搭載装置を支持します。
    パッシブ除振素子 単一の剛性等方性エラストマー（圧縮空気の供給不要）
    振動センサー素子 除振装置の下の床振動を測定し、振動運動の速度に比例した電圧を供給する下向きジオフォン型慣性センサー
    アクティブフィードバック制御ループ 隔離された表面を支持するばねの下で、床振動を測定し、処理し、そして減衰される
    除振装置の寸法（幅x深x高） 11.75 x 12.5 x 10.8 インチ
    300 x 320 x 275 mm
    除振装置重量 75 lb （34 kg）
    動作温度 50～90°F
    10～32°C
    保管温度 -40～130°F
    -40～55°C
    湿度 80% at 68 deg F (20 deg. C), Max dewpoint: 18 deg C
    システムの電源要件 100、120、230、240 VAC
    50/60 Hz AC、 <600 W
    CE準拠
    床振動の変位 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
    システムあたりの除振装置数 最低3つ
    オプション ラミネート加工されたステンレススチール定盤、フレーム、ライザー、レベリング装置、地震拘束器具、リフトフッド
    DC-2020コントローラーの仕様
    製品寸法（幅x深x高） 19 x 8.5 x 1.75 インチ
    483 x 216 x 45 mm
    重量 6.3 lb （2.9 kg）
    プロセッサー 150/75 MHz　デュアルコア
    サンプリングレート 10 kHz
    アナログ出力 16チャネル
    アナログ入力 16チャネル
    ステータスライト 単一LED
    フロントパネルポート 1x シリアルUSB 2.0
    1x シリアルMicroUSB
    1x イーサネット RJ-45
    2x BNC
    リアパネルポート 1x シリアルUSB 2.0
    1x イーサネット RJ-45
    1x RS-232 DB-9　旧バージョンのSTACIS 2100除振装置用の旧バージョンのシリアルポート
    ユーザーインターフェース フロントパネル LCD ディスプレイ
    HyperTerminal のキャラクターメニュー
    Microsoft Windows用拡張GUI
    内蔵型イーサネットGUI

  • アプリケーションノート +


    高度液浸リソグラフィーにおける振動の影響

    積層型空気ばね式除振装置におけるパフォーマンスロス

    Precitech Nanoform 250 UltraとSTACISの組み合わせが歩留まりを向上させます

    微小振動のシェーカーとしてのSTACIS

    STACIS III Quiet Island は高分解能Cryo EMを可能にします

  • アプリケーションの写真 +


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  • 注文する +


    STACIS® IIIシステムは、お客様の特有の機器や床のコンディションに合わせて設計します。 
    アプリケーションエンジニアリングチームにお問い合わせください。お客様のアプリケーションに適した構成をご提案し、お見積もりもご提供します。
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