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Stage-Base

Vibration cancellation system for moving stage semiconductor tools

  • 概要 +


    TMCは、半導体機器が除振装置に課す挑戦的な要求への新たなソリューションを開発するために、高度技術を適用し続けています。Stage-Base 450は、高精度電動駆動X-Yステージを搭載した高度な半導体機器の主要な除振台として特別に設計されています。このような機器は非常に効果的な除振を要求すると同時に、ステージによって誘発される搭載装置の動作が、機器の処理能力が最大化されるように素早く静まることも要求しています。処理能力を向上させ、より速い整定時間の実現のためにフィードフォワード制御を備えたVCMを追加した結果、ステージ移動アプリケーションで最先端のアクティブ振動とモーション制御システムとなりました。

    特許出願中

  • Stage-Baseの利点 +


    Stage-Base450は、ボイスコイル技術を統合したアクティブハードマウントピエゾ式除振の次世代製品です。積極的な動作ステージモーションを打ち消すのにボイスコイルモーター（VCM）を用い、高度な低周波除振を実現しています。TMCだけがこのユニークな直列型の技術を提供できます。

    次世代アクティブ制御システムのStage-Base 450は、TMCのSTACISテクノロジーを採用しています。ピエゾ式アクチュエータと直列型構造の剛性サスペンションを用いて、激しい振動の減衰を実現します。これにより、業界では例を見ない0.6Hzから床の除振は開始され、ステージの力に反応した初期たわみが大幅に低減されます。

  • 仕様 +


    • 独自のSTACIS®技術を採用
    • 高性能、拡張ストロークのピエゾ式アクチュエータを搭載
    • ミクロン単位の搭載装置の位置繰り返し精度
    • フレームマウント可能な設計
    • 6アクティブ自由度
    • VCMのフィードフォワードおよび/またはフィードバックのオプション
    • 0.6Hzから始まるアクティブな除振
    • ステージ動作に応じた高速整定時間
    • ソフトエアーサスペンションなし
    • USB 2.0を用いたPCベースのグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を備えた高速デジタルコントローラ
    • シンプルで頑強で費用対効果が高い

  • 性能 +




  • アプリケーションの写真 +


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