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LaserTable-Base

Hybrid optical table vibration isolation system
  • 概要 +


    LaserTable-Base™ は、光学定盤で達成できる除振において、既存の技術を桁外れに上回るレベルの改善を提供します。通常、光学定盤は、低周波空気ばね式除振装置によって設置されています。高周波数を除振するのに非常に効果的ですが、これらのパッシブシステムは実際には1〜3Hzの臨界領域の振動を増幅させてしまいます。

    TMCのSTACIS技術は、非常に低い周波数の振動を増幅ではなく減衰させるために、ピエゾ式アクチュエータと慣性振動センサーを組み込んだ独自の技術でこれらの制限に打ち勝ちます。LaserTable-Baseは、空気ばね式とSTACISの2つの技術を結びつけ、一つの統合された除振システムにします。その結果、2つの除振装置を直列に結びつけた効果により、非常に低い周波数での除振と、前例のない高いレベルの高周波数の除振が可能になります。

    LaserTable-Baseの上部の空気ばね式の部分はモジュール式で交換可能です。アプリケーション要件に応じて、TMCのGimbal PistonまたはMaxDamp空気ばね式除振装置、または剛性がある非除振性の支持脚を組み込むことができます。

  • 仕様 +


    • 組み込まれた特許取得済みのSTACIS®技術を採用
    • アクティブ慣性振動除振装置
    • 除振は1 Hz未満で開始
    • 拡大ストロークピエゾ式アクチュエータ、最大60ミクロン。
    • 6アクティブ自由度
    • 最大限の除振のため直列に並んだ2つの除振装置
    • 特許取得済みのMaxDamp®空気ばね式除振装置を採用
    • シンプルで頑強で費用対効果が高い
    • テーブルの下に装置を取り付けるためのオプションのシェルフ
    • TMCのDC-2020デジタルコントローラを含む
     
  • 性能 +


    低周波数パッシブMaxDamp® 空気ばね式除振装置とピエゾ式アクティブ除振装置を直列に組み合わせることにより、2つの個別の伝達率曲線を合計した総合的な伝達率曲線が作られます。結果として生じる除振性能は非常に劇的でしたので、ある周波数の範囲では弊社は測定機器のノイズフロアによって制御されます。測定は不可能で完全な除振性能を証明することはできませんでした。すなわち、10-12ヘルツを上回ると、組み合わされた除振装置は理論上2つのサブシステムによって提供される除振性能の合計なので、組み合わされたシステムの実際の性能は示された値を超えると予想されます。

    lasertable-base結合伝達率曲線

    2,000 ポンド(907 kg)の搭載装置をVC-A (2,000 µインチ/s、50 µm/s)のシミュレーション振動でテスト


    lasertable-base垂直伝達率

    lasertable-base水平伝達率
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